| 摘要 |
인라인 방식의 열증착 장치이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 인라인 방식의 열증착 장치는, 챔버에 마련되며, 기판에 대한 증착 공정이 연속적으로 진행되도록 기판을 연속적으로 이송시키는 기판 이송유닛; 챔버 내의 일측에 배치되며, 열증착 방식을 통해 기판 상으로 증착물을 증착시키는 다수의 증발 소스; 및 기판이 이송되는 방향에 대하여 증발 소스의 후방에 배치되며, 기판의 비증착 영역에 증착된 증착물을 레이저를 이용하여 제거하는 레이저 유닛을 포함한다. |
