アクリル酸エステル系誘導体の製造方法並びに中間体およびその製造方法

摘要

フォトレジスト組成物に含有させる高分子の単位の１つとした際に、ＬＷＲ等のリソグラフィー特性に優れ、高解像度となり得る新規なアクリル酸エステル系誘導体の製造方法、該誘導体の中間体及びその製造方法。具体的には、化合物３とアルデヒドを酸存在下に反応させて化合物２を得、続いてアクリル酸系化合物を反応させてアクリル酸エステル系誘導体１を製造する。