发明名称 Verfahren und System zur Steuerung der Konvektion innerhalb einer Plasmazelle
摘要 Eine Plasmazelle zur Steuerung von Konvektion beinhaltet ein Transmissionselement, welches dazu ausgebildet ist, Beleuchtung von einer Beleuchtungsquelle zu empfangen, um ein Plasma innerhalb eines Plasmaerzeugungsgebiets des Gasvolumens zu erzeugen. Die Plasmazelle beinhaltet auch ein oberes Strömungssteuerelement, welches oberhalb der Plasmaerzeugung angeordnet ist und einen inneren Kanal beinhaltet, der dazu ausgelegt ist, eine Fahne des Plasmas nach oben zu leiten, und ein unteres Strömungssteuerelement, welches unterhalb des Plasmaerzeugungsgebiets angeordnet ist und einen Kanal beinhaltet, der dazu ausgelegt ist, Gas nach oben zu dem Plasmaerzeugungsgebiet zu leiten. Das obere Strömungssteuerelement und das untere Strömungssteuerelement sind so innerhalb des Transmissionselements angeordnet, dass sie einen oder mehrere Gasrückführkanäle bilden, um Gas von einem Bereich oberhalb des Plasmaerzeugungsgebiets zu einem Bereich unterhalb des Plasmaerzeugungsgebiets zu leiten.
申请公布号 DE112014001493(T5) 申请公布日期 2015.12.10
申请号 DE20141101493T 申请日期 2014.05.28
申请人 KLA-TENCOR CORPORATION 发明人 BEZEL, ILYA;SHCHEMELININ, ANATOLY;DERSTINE, MATTHEW W.
分类号 H01J61/30 主分类号 H01J61/30
代理机构 代理人
主权项
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