发明名称 调控SiC纳米阵列密度的方法
摘要 本发明公开的调控SiC纳米阵列密度的方法,包括如下步骤,1)、前躯体准备;基体准备;2)、催化剂沉积:在准备好的基体表面沉积催化剂层;3)、将沉积有催化剂层的基体以及前躯体共同于烧结氛围中烧结,前躯体热解在基体表面形成SiC纳米阵列。本发明公开的制备方法工艺简单,生产方便,便于扩大规模,安全性好,产品质量稳定性好,产品性能稳定。
申请公布号 CN105133017A 申请公布日期 2015.12.09
申请号 CN201510404012.5 申请日期 2015.07.08
申请人 宁波工程学院 发明人 王霖;陈善亮;杨为佑
分类号 C30B29/36(2006.01)I;C30B1/00(2006.01)I;H01J1/304(2006.01)I;C01B31/36(2006.01)I;B82Y30/00(2011.01)I 主分类号 C30B29/36(2006.01)I
代理机构 宁波市鄞州盛飞专利代理事务所(普通合伙) 33243 代理人 张向飞
主权项 调控SiC纳米阵列密度的方法,其特征在于:包括如下步骤,1)、前躯体准备;基体准备;2)、催化剂沉积:在准备好的基体表面沉积催化剂层,通过调节催化剂层的厚度实现对SiC纳米阵列的阵列密度的调控;3)、将沉积有催化剂层的基体以及前躯体共同于烧结氛围中烧结,前躯体热解在基体表面形成SiC纳米阵列。
地址 315000 浙江省宁波市镇海区风华路201号