一种电子束加工设备精密加速电源装置及控制方法

摘要

本发明涉及一种电子束加工设备精密加速电源装置及控制方法，其装置包括进线滤波器、低压整流滤波单元、直流-直流变换单元、逆变单元、高压单元和调节器，所述进线滤波器的输入端与外部电网连接，所述进线滤波器的输出端、低压整流滤波单元、直流-直流变换单元、逆变单元和高压单元的输入端依次串联，所述高压单元的高压输出端输出高压电接至电子枪阴极，所述高压单元的信号端输出的高压反馈信号U送至调节器的第二输入端，所述调节器的第一输入端输入高压给定信号U^*，所述调节器的输出端与所述直流-直流变换单元的信号端连接。相对现有技术，本发明利用同步Buck电路调压，解决轻载电流断续出现尖峰脉冲电压问题。

主权项

一种电子束加工设备精密加速电源装置，包括进线滤波器(1)、低压整流滤波单元(2)、直流‑直流变换单元(3)、逆变单元(4)、高压单元(5)和调节器(6)，所述进线滤波器(1)的输入端与外部电网连接，所述进线滤波器(1)的输出端、低压整流滤波单元(2)、直流‑直流变换单元(3)、逆变单元(4)和高压单元(5)的输入端依次串联，所述高压单元(5)的高压输出端输出高压电接至电子枪阴极，所述高压单元(5)的信号端输出的高压反馈信号U送至调节器(6)的第二输入端，所述调节器(6)的第一输入端输入高压给定信号U^*，所述调节器(6)的输出端与所述直流‑直流变换单元(3)的信号端连接；所述进线滤波器(1)，其用于接入交流电，消除高频电磁干扰信号在其输入端与输出端间的传递；所述低压整流滤波单元(2)，其用于将交流电变换成平直不可控直流电；所述直流‑直流变换单元(3)，其用于将平直不可控直流电变成平直可控直流电；还用于将调节信号Uc转换成PWM信号的占空比，实现输出高压的稳定调节；所述逆变单元(4)，其用于将平直可控直流电逆变成可控中频矩形波交流电；所述高压单元(5)，其用于将可控中频矩形波交流电进行升压和整流滤波，并输出平直的直流高压电，同时对输出高压值信号进行线性采样，输出高压反馈信号U；所述调节器(6)，其用于将高压给定信号U^*与高压反馈信号U的差值进行比例－积分(PI)运算，生成调节信号Uc。