| 摘要 |
<p>본 발명의 과제는, 성막 용기의 압력을 측정하기 위한 압력계에 내열성을 요구하지 않고, 또한 설치 면적을 저감 가능한 성막 장치를 제공하는 것이다. 성막 용기(11) 내에 보유 지지되어 있는 기판에 원료 가스를 공급함으로써, 기판에 막을 성막하는 성막 장치에 있어서, 성막 용기(11)에 원료 가스를 공급하는 공급 기구와, 성막 용기(11)로부터 가스를 배기하는 배기 기구(25)와, 성막 용기(11)로부터 배기 기구(25)로 가스가 흐르는 배기 유로(55)의 도중에 설치되어 있고, 원료 가스를 포함하는 생성물을 석출시킴으로써 원료 가스를 포착하는 트랩부(30)와, 성막 용기(11)와 트랩부(30) 사이에서 배기 유로(55)에 합류하도록 접속되어 있고, 배기 유로(55)에 퍼지 가스를 공급하는 퍼지 가스 공급부(50)와, 퍼지 가스 공급부(50)로부터 배기 유로(55)로 퍼지 가스가 흐르는 퍼지 가스 공급 유로(52)의 도중에 설치된 압력계(51)를 갖는다.</p> |
