熔石英亚表层微缺陷探测装置

摘要

本实用新型提供了一种熔石英亚表层微缺陷探测装置，涉及光学器件领域。该熔石英亚表层微缺陷探测装置用于对放置于样品台上的样品进行损伤探测，包括激光器、成像系统、电子倍增电荷耦合元件和显示器，电子倍增电荷耦合元件和成像系统设置于同一直线，当该熔石英亚表层微缺陷探测装置工作时，所述激光器设置于激光能够直接照射至样品的位置，所述电子倍增电荷耦合元件与所述显示器电连接。激光照射到样品后，样品的亚表面缺陷会发出荧光，电子倍增电荷耦合元件接收到的样品发出的荧光图像，并将图像传送给显示器显示，这样，使用者便收集到样品的亚表层微缺陷的荧光图像，对样品的亚表层微缺陷做出判断，避免了对熔石英元件的损坏。

主权项

一种熔石英亚表层微缺陷探测装置，用于评测放置于样品台上样品的激光损伤性能，其特征在于，包括激光器、成像系统、电子倍增电荷耦合元件和显示器，所述电子倍增电荷耦合元件和所述成像系统设置于同一直线，当该熔石英亚表层微缺陷探测装置工作时，所述激光器发出的激光直接照射至所述样品台上的样品，样品的亚表层微缺陷发出能使所述电子倍增电荷耦合元件采集的荧光，所述电子倍增电荷耦合元件与所述显示器电连接。