一种基板清洗设备

摘要

本发明公开了一种基板清洗设备，包括机架、用于盛放玻璃基板的载台、安装有超声波发射器的清洗头本体、至少一个激光位移传感器、以及信号处理器；其中，载台固定于机架；清洗头本体位于载台上方，且可滑动地安装于机架；激光位移传感器安装于清洗头本体、且通过向玻璃基板表面发射激光探测射线来测量激光位移传感器与玻璃基板表面之间的距离信息；信号处理器与激光位移传感器信号连接、且用于当激光位移传感器与玻璃基板表面之间的距离信息出现异常时判断玻璃基板破损。本发明提供的基板清洗设备能够准确地检测出被测玻璃基板是否有破损，且能够避免漏检的情况出现，提高了破损玻璃基板的检出率。

主权项

一种基板清洗设备，其特征在于，包括机架、用于盛放玻璃基板的载台、安装有超声波发射器的清洗头本体、至少一个激光位移传感器、以及信号处理器；其中，所述载台固定于所述机架；所述清洗头本体位于所述载台上方，且可滑动地安装于所述机架；其中，在所述信号处理器判断玻璃基板有破损后，所述清洗头本体继续移动以完成此次的清洗和检测；所述激光位移传感器安装于所述清洗头本体、且通过向所述玻璃基板表面发射激光探测射线来测量所述激光位移传感器与所述玻璃基板表面之间的距离信息；所述信号处理器与所述激光位移传感器信号连接、且用于当所述激光位移传感器与所述玻璃基板表面之间的距离信息出现异常时判断玻璃基板破损；所述信号处理器还与抓取玻璃基板的机械手的控制装置信号连接，当所述信号处理器判断出被检测玻璃基板破损时，所述信号处理器生成拒绝抓取信号，并下发给机械手的控制装置，以使控制装置控制机械手停止抓取动作。