| 发明名称 | 一种光纤压力传感器及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种光纤压力传感器及其制备方法，本发明的技术方案为：所述传感器包括弹性悬膜，光纤，其特征是：所述弹性悬膜与光纤端面之间具有空隙，传感器中光纤的中轴线偏离悬膜的中轴线，受压时入射光被弧形悬膜斜反射，反射进入光纤的强度作为探测的敏感量；利用牺牲层实现弹性薄膜从衬底分离获得弹性悬膜，并且所述弹性悬膜的边缘仍然保持和衬底固定在一起。本发明的有益效果是，可以将很薄的薄膜(厚度可以小于10微米)转移并固定到传感器上，并且可以精细控制薄膜与光纤端面之间的距离(间距可以小于10微米)，该传感器具有体积小、使用简便以及灵敏度高的特点。 | ||
| 申请公布号 | CN103162878B | 申请公布日期 | 2015.12.09 |
| 申请号 | CN201110419923.7 | 申请日期 | 2011.12.11 |
| 申请人 | 黄辉;刘蓬勃;曹暾 | 发明人 | 黄辉;刘蓬勃;曹暾;唐祯安;渠波;齐振彬;任明坤;刘学宇;吴海波 |
| 分类号 | G01L1/24(2006.01)I;G01L11/02(2006.01)I;G01H9/00(2006.01)I | 主分类号 | G01L1/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京金之桥知识产权代理有限公司 11137 | 代理人 | 朱黎光 |
| 主权项 | 一种光纤压力传感器，包括弹性悬膜，光纤，其特征是：所述弹性悬膜与光纤端面之间具有空隙，传感器中光纤的中轴线偏离悬膜的中轴线，受压时入射光被弧形悬膜斜反射，反射进入光纤的强度作为探测的敏感量；利用牺牲层实现弹性薄膜从衬底分离获得弹性悬膜，并且所述弹性悬膜的边缘仍然保持和衬底固定在一起。 | ||
| 地址 | 116024 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号理工大学创新园大厦A1226 | ||