发明名称 |
一种制备铜铝碲薄膜的方法 |
摘要 |
一种制备铜铝碲薄膜材料的制备方法,属于光电薄膜制备技术领域,本发明通过如下步骤获得,首先清洗玻璃基片,然后将CuCl<sub>2</sub>·2H<sub>2</sub>O、Al(NO<sub>3</sub>)<sub>3</sub>·9H<sub>2</sub>O、TeO<sub>2</sub>放入溶剂中,用旋涂法在玻璃片上得到前驱体薄膜,烘干,放入有水合联氨的可密闭容器,使前驱体薄膜样品不与联氨接触,将此密闭容器进行加热后取出样品并干燥,得到铜铝碲光电薄膜。本发明不需要高温真空条件、对设备仪器要求低并容易操作、生产成本低、生产效率高等优点。所得铜铝碲光电薄膜有较好的连续性和均匀性,这种新工艺为制备高性能的铜铝碲光电薄膜提供了一种成本低、可实现工业化的生产方法。 |
申请公布号 |
CN103396009B |
申请公布日期 |
2015.12.09 |
申请号 |
CN201310300894.1 |
申请日期 |
2013.07.09 |
申请人 |
山东建筑大学 |
发明人 |
李静;刘科高;高稳成;石磊;禤畅 |
分类号 |
C03C17/22(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
C03C17/22(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种制备铜铝碲薄膜的方法,包括如下步骤:a.玻璃基片的清洗,将大小为2mm×2mm玻璃片按体积比放入三氯甲烷∶乙醇=5∶1的溶液中,超声波清洗30min;再将玻璃片放入丙酮∶蒸馏水=5∶1的溶液中,超声波清洗30min;再在蒸馏水中将玻璃基片用超声振荡30min;将上述得到的玻璃基片排放在玻璃皿中送入烘箱中,在100℃下烘干供制膜用;b.将1.0份CuCl<sub>2</sub>·2H<sub>2</sub>O、2.200份Al(NO<sub>3</sub>)<sub>3</sub>·9H<sub>2</sub>O及1.872份TeO<sub>2</sub>放入39.789份乙二醇中均匀混合,加盐酸至pH为2.5,利用超声波振动30min以上,使溶液中的物质均匀混合;c.将上述溶液滴到放置在匀胶机上的玻璃基片上,再启动匀胶机,匀胶机以200转/分转动5秒,以3000转/分旋转15秒,使滴上的溶液涂均匀后,在100℃对基片进行烘干后,再次重复滴上前述溶液和旋转涂布后再烘干,如此重复10次,于是在玻璃基片上得到了一定厚度的前驱体薄膜样品;d.将上述工艺所得的前驱体薄膜样品放入可密闭的容器,并放入1.791份水合联氨,前驱体薄膜样品置于支架上使其不与联氨接触;e.将上述装有前驱体薄膜样品的密闭容器放入烘箱中,加热至200℃,保温时间18小时,然后冷却到室温取出,使其自然干燥后,即得到铜铝碲薄膜。 |
地址 |
250101 山东省济南市临港开发区凤鸣路山东建筑大学 |