| 发明名称 | 一种高温抗氧化涂层的复合沉积方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种用于高温抗氧化涂层的复合沉积方法，包括下列步骤：(1)将需沉积涂层的基底放置于反应室内，将反应室抽真空；(2) 利用加热装置对基底加热并保持相应加热温度；(3)利用原子层沉积技术在基底上沉积一层所需的高温抗氧化层；(4)利用化学气相沉积技术沉积一层与步骤（3）中同种材料的高温抗氧化层；(5)重复上述步骤(3)至(4)，直到高温抗氧化层的厚度满足要求为止。本发明利用原子层沉积涂层的高致密性，实现对化学气相沉积薄膜中裂纹、微孔等缺陷的阻隔，防止各类缺陷的遗传和发展，使涂层具有很好的抗氧化性能，同时，沉积时间也在可实现的合理范围中。 | ||
| 申请公布号 | CN105132888A | 申请公布日期 | 2015.12.09 |
| 申请号 | CN201510576645.4 | 申请日期 | 2015.09.11 |
| 申请人 | 兰州空间技术物理研究所 | 发明人 | 熊玉卿;赵栋才;冯煜东;王兰喜;王金晓 |
| 分类号 | C23C16/455(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/455(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人 | 高玉滨 |
| 主权项 | 一种用于高温抗氧化涂层的复合沉积方法，其特征在于，包括下列步骤：(1) 将需沉积涂层的基底放置于反应室内，将反应室抽真空；(2) 利用加热装置对基底加热并保持相应加热温度；(3) 利用原子层沉积技术在基底上沉积一层所需的高温抗氧化层；(4) 利用化学气相沉积技术沉积一层与步骤（3）中同种材料的高温抗氧化层；(5) 重复上述步骤(3)至(4)，直到高温抗氧化层的厚度满足要求为止。 | ||
| 地址 | 730000 甘肃省兰州市城关区渭源路97号 | ||