具有分段电极的机电系统

摘要

本发明提供用于在机电系统EMS装置内增加可移动层的稳定行进位置范围的系统、方法以及设备。在一个方面中，电隔离的浮动电极可被设置在可移动层内的驱动电极和固定电极之间，以便增加所述可移动层的稳定行进范围。通过将所述电隔离的浮动电极分段成多个隔离电极段，响应于所述可移动层的倾斜的不平衡的电荷积聚可被限制以进一步增加所述可移动层的所述稳定行进范围。

主权项

一种机电系统EMS装置，其包括：第一电极，其由衬底支撑；可移动层，其通过间隙与所述第一电极分离；第二电极，其由所述可移动层支撑，其中所述第一电极或者第二电极中的一个电极是包含位于第一驱动电极与第二驱动电极之间的多个隔离电极段的分段电极，其中所述多个隔离电极段中的每一个既与所述第一驱动电极和第二驱动电极又与其他隔离电极段均电隔离，且其中所述第一电极或者第二电极中的另一个用作第一驱动电极；以及第二驱动电极，其中在所述第一驱动电极和所述第二驱动电极之间的电压施加以静电方式使所述可移动层位移。