一种单晶炉真空泵废油收集系统

摘要

一种单晶炉真空泵废油收集系统，包括气动隔膜泵、废油桶和废油收集管道，废油收集管道通过若干支管道分别与每个真空泵的放油口连接，并通过废油输送管道与气动隔膜泵的进口连接，气动隔膜泵的出口通过排油管与废油桶连接。本实用新型通过采用气动隔膜泵、废油收集管道和若干支管道，实现了利用气动隔膜泵将真空泵中的废油自动抽送到废油桶内储存，避免人为更换泵油过程中的各种泄漏和洒落风险，最大限度的降低更换废油过程对人体和环境的伤害、污染；同时，采用特殊的连接软管进行连接，能够克服真空泵运转时产生的机械震动对管道的损坏，内嵌钢丝管还具有防止因内部真空引起的软管变形的作用。

主权项

一种单晶炉真空泵废油收集系统，其特征在于：包括气动隔膜泵（8）、废油桶（10）和废油收集管道（2），其中，废油收集管道（2）通过若干支管道（3）分别与每个真空泵（1）的放油口连接，并通过废油输送管道（7）与气动隔膜泵（8）的进口连接，气动隔膜泵（8）的出口通过排油管（9）与废油桶（10）连接，在每条支管道（3）上均设置有阀门Ⅰ（4），在废油输送管道（7）上设置阀门Ⅱ（6），在排油管（9）和气动隔膜泵（8）的压缩空气管道（11）上分别设置有控制阀。