基于反射型补偿数字全息术的光学元件表面疵病检测装置

摘要

本实用新型涉及光学检测领域，具体涉及一种基于反射型补偿数字全息术的光学元件表面疵病检测装置，它利用数字全息技术测量由表面疵病引起的元件反射波前的相位畸变，进而通过相位畸变与光程差的关系来获得表面疵病的形貌结构；本实用新型包括激光器、光学系统、CCD相机及计算机，其有益效果为：实现对于光学元件表面疵病三维形貌的实时快速全场定量检测，使用便携，易于操作。

主权项

基于反射型补偿数字全息术的光学元件表面疵病检测装置，它包括激光器（1）、CCD相机（13）及计算机（12），其特征在于：它还包括光学系统；所述激光器（1）设置在光学系统的光入射端，所述CCD相机（13）设置在光学系统的光射出端,所述CCD相机（13）与计算机（12）电连接；所述光学系统包括依次设置的第一显微物镜（2）、针孔（3）、第一透镜（4）、第一分光棱镜（5）、第一反射镜（6）、第二反射镜（7）、第二透镜（8）、第二分光棱镜（9）及第二显微物镜（10）；所述第一分光棱镜（5）与第二分光棱镜（9）之间设置有可调衰减器（11）和第三显微物镜（15）；细激光束由激光器（1）发出，穿过第一显微物镜（2）和针孔（3）变为球面光束，球面光束穿过第一透镜（4）变为平行光束后经过第一分光棱镜（5）分为反射平行光和透射平行光；所述反射平行光经过第一反射镜（6）、第二反射镜（7）反射后照射到第二透镜（8），反射平行光再依次经第二透镜（8）、第二分光棱镜（9）和第二显微物镜（10）透射后照射到测试样品（14）上，反射平行光经测试样品(14)反射后穿过第二显微物镜（10）到达第二分光棱镜（9）,并经第二分光棱镜（9）反射到达CCD相机（13）；所述透射平行光依次穿过可调衰减器（11）、第三显微物镜（15）和第二分光棱镜（9）后到达CCD相机（13）。