| 发明名称 | 一种刻蚀机托盘的真空测漏装置 | ||
| 摘要 | 一种刻蚀机托盘的真空测漏装置，包括配重块、真空室，所述的真空室内设置有装配好的托盘，托盘外圈上面设置有配重块，真空室与托盘之间设置有第一密封圈，真空室顶部通过螺钉固定有真空腔盖，真空室与真空腔盖之间设置有第二密封圈；真空室侧面连接有氦质谱检漏仪；所述的真空室底面中心设置有氦气接入口，侧面设置有抽气口。本实用新型结构简单，操作方便，制造成本低，有效判断托盘的漏率情况，提高了生产效率。 | ||
| 申请公布号 | CN204857682U | 申请公布日期 | 2015.12.09 |
| 申请号 | CN201520658306.6 | 申请日期 | 2015.08.28 |
| 申请人 | 靖江先锋半导体科技有限公司 | 发明人 | 游利 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 靖江市靖泰专利事务所 32219 | 代理人 | 陆平 |
| 主权项 | 一种刻蚀机托盘的真空测漏装置，包括配重块（1）、真空室（2），其特征在于：所述的真空室（2）内设置有装配好的托盘（3），托盘（3）外圈上面设置有配重块（1），真空室（2）与托盘（3）之间设置有第一密封圈（5），真空室（2）顶部通过螺钉固定有真空腔盖（8），真空室（2）与真空腔盖（8）之间设置有第二密封圈（6）；真空室（2）侧面连接有氦质谱检漏仪；所述的真空室（2）底面中心设置有氦气接入口（4），侧面设置有抽气口（7）。 | ||
| 地址 | 214500 江苏省泰州市靖江市城南开发区德裕路8号 | ||