一种设有三维搅拌器结晶设备

摘要

本实用新型涉及一种设有三维搅拌器结晶设备，包括晶体生长罐和三维搅拌器，三维搅拌器包括固定支架、横、纵、垂直向驱动机构以及搅拌杆；横、纵和垂直向驱动机构均包括直驱电机、导轨、滚珠丝杆副和两个支撑座，滚珠丝杆副由螺杆和套装在螺杆上的螺母滑块构成，两个支撑座分别固定在导轨的两端，滚珠丝杆副的螺杆支撑在两个支撑座之间，套装螺杆上的螺母滑块与导轨滑动配合，直驱电机的定子固定在一支撑座上，直驱电机的转子线圈固定在螺杆的一端，螺杆由直驱电机带动转动，使滑块沿螺杆作轴向驱动，在每根螺杆的两端分别设置有位移传感器。该设备能够改变晶体生长轨迹，促进晶体生长，提高晶体质量。

主权项

一种设有三维搅拌器结晶设备，其特征在于，所述结晶设备包括晶体生长罐和三维搅拌器，所述三维搅拌器包括固定支架、横向驱动机构、纵向驱动机构、垂直向驱动机构以及搅拌杆；所述横向驱动机构、纵向驱动机构和垂直向驱动机构均包括直驱电机、导轨、滚珠丝杆副和两个支撑座，所述滚珠丝杆副由螺杆和套装在螺杆上的螺母滑块构成，所述两个支撑座分别固定在导轨的两端，所述滚珠丝杆副的螺杆支撑在两个支撑座之间，套装螺杆上的螺母滑块与导轨滑动配合，所述直驱电机的定子固定在一支撑座上，所述直驱电机的转子线圈固定在螺杆的一端，所述螺杆由直驱电机带动转动，使所述滑块沿螺杆作轴向驱动，在每根螺杆的两端分别设置有位移传感器；所述横向驱动机构沿水平方向安装在固定支架上，纵向驱动机构沿水平方向安装在横向驱动机构的螺母滑块上并使纵向驱动机构的螺杆的轴线与横向驱动机构的螺杆的轴线相垂直，所述垂直向驱动机构沿竖直方向安装在纵向驱动机构的螺母滑块上；所述搅拌杆固设在垂直向驱动机构的螺母滑块上并伸进所述晶体生长罐内。