用于真空泵的抗腐蚀轴密封

摘要

一种用于从处理室泵送气体的真空泵，所述泵包括：转子，所述转子由驱动轴支撑以便在泵送室中旋转，所述轴延伸穿过泵送室的横向于驱动轴延伸的壁中的轴孔；和设置在轴和横向壁之间的密封装置，用于阻止气体通过轴孔，其中，在转子旋转时，气体从泵送室入口处的低压区域泵送到泵送室出口处的高压区域，且其中，所述转子和横向壁隔开一轴向间隙，气体向后泄漏能够从高压区域沿所述轴向间隙流向低压区域，且形成用于向后泄漏的附加泄漏路径，所述附加泄漏路径从密封装置隔开，气体能够沿着所述附加泄漏路径流动，而不与密封装置接触，从而减少在泵的使用期间与密封装置接触的气体量。

主权项

一种用于从处理室泵送气体的真空泵，所述泵包括：转子，所述转子由驱动轴支撑以便在泵送室中旋转，所述轴延伸穿过泵送室的横向于驱动轴延伸的壁中的轴孔；和设置在轴和横向壁之间的密封装置，用于阻止气体通过轴孔，其中，在转子旋转时，气体从泵送室入口处的低压区域泵送到泵送室出口处的高压区域，以及其中，所述转子和横向壁隔开一轴向间隙，气体的向后泄漏能够沿所述轴向间隙从高压区域流向低压区域，且形成用于向后泄漏的附加泄漏路径，所述附加泄漏路径从密封装置隔开，所述附加泄漏路径相对于与密封装置接触的气体流动路径提供优先流动路径，气体能够沿着所述附加泄漏路径流动，而不与密封装置接触，从而减少在泵的使用期间与密封装置接触的气体量。