纳米孔和纳米流体器件中尺寸的反馈控制

摘要

通过使用反馈系统，以受控方式闭合或打开诸如纳米沟道和纳米孔的纳米流体通路。在存在电解质的通路内生长或去除氧化物层，直到通路达到选定尺寸或者通路被闭合。在制造期间测量纳米流体通路的尺寸变化。流过通路的离子电流水平可被用来确定通路尺寸。可通过对元件之间的流体通路的选择性氧化而控制流过流体元件的阵列的流体流。

主权项

一种制造纳米流体器件的方法，包括：提供纳米流体器件，所述纳米流体器件包括纳米流体通路以及在所述纳米流体通路内的电解质，所述纳米流体通路具有导电表面；对所述导电表面施加电压，以通过氧化所述导电表面而在其上形成氧化物层；以及改变所述电压以通过氧化或还原改变所述氧化物层的厚度，从而电化学地改变所述纳米流体通路的尺寸。