一种六氟化硫和四氟化碳混合气体预分离的方法

摘要

一种六氟化硫和四氟化碳混合气体预分离的方法，它涉及混合气体预分离的方法。本发明的目的是要解决现有回收后的六氟化硫和四氟化碳混合气体相容性较好，无法进行分离和净化处理的问题。装置包括混合气体入口管、干燥器、过滤器、压缩机、风冷器、气体分离塔、液位计、称重传感器、温度传感器、液态灌装机、六氟化硫气体出口管、四氟化碳充装压缩机和四氟化碳气体出口管。方法：一、混合气体回收至分离塔；二、SF₆气体提纯；三、CF₄气体充装；四、第一气体分离塔和第二气体分离塔的气体压力平衡；五、分离塔中SF₆气体灌装。本发明可获得一种六氟化硫和四氟化碳混合气体预分离装置。

主权项

一种六氟化硫和四氟化碳混合气体预分离的方法，其特征在于一种六氟化硫和四氟化碳混合气体预分离的方法是按以下步骤完成的：一、混合气体回收至分离塔：首先将装有六氟化硫和四氟化碳混合气体的钢瓶与混合气体入口管(1)相连通，开启手动球阀C₃(27)、电磁阀V₂(26)和电动球阀DF₁(29)，再开启手动球阀C₂(23)和电磁阀V₁(19)，再启动‑40℃制冷机组(8)，再开启制冷剂进口阀D₁(8‑1)和制冷剂进口阀D₂(8‑2)，再启动压缩机(4)，再开启手动球阀C₁(17)，打开装有六氟化硫和四氟化碳混合气体的钢瓶，使装有六氟化硫和四氟化碳混合气体的钢瓶出口压力控制在0.2MPa以下，当观察到第一液位计(11)有液位时，停止六氟化硫和四氟化碳混合气体回收，停止压缩机(4)和‑40℃制冷机组(8)，关闭电磁阀V₁(19)、电动球阀DF₁(29)、电磁阀V₂(26)、制冷剂进口阀D₁(8‑1)和制冷剂进口阀D₂(8‑2)，关闭装有六氟化硫和四氟化碳混合气体的钢瓶的阀门和手动球阀C₁(17)；二、SF₆气体提纯：启动‑40℃制冷机组(8)，开启制冷剂进口阀D₁(8‑1)，对SF₆气体进行提纯20min，再停止‑40℃制冷机组(8)，关闭制冷剂进口阀D₁(8‑1)；三、CF₄气体充装：将一处于真空状态的CF₄气体钢瓶与四氟化碳气体出口管(34)相连接，确认电动球阀DF₁(29)关闭，打开手动球阀C₇(30)、电磁阀V₄(31)、手动球阀C₉(33)，打开钢瓶阀门，启动四氟化碳充装压缩机(49)，将第一气体分离塔(6)中的气体充入钢瓶中，当第一气体分离塔(6)中的气体压力低于0.05MPa或钢瓶中气体压力大于7.0MPa时，CF₄气体充装完成，停止四氟化碳充装压缩机(49)，关闭电磁阀V₄(31)、手动球阀C₇(30)、钢瓶阀门和手动球阀C₉(33)；四、第一气体分离塔和第二气体分离塔的气体压力平衡：打开手动球阀C₁₀(48)，待第一气体分离塔(6)和第二气体分离塔(7)内的压力平衡后，再打开电动球阀DF₁(29)，关闭手动球阀C₁₀(48)；五、分离塔中SF₆气体灌装：将一处于真空状态的40L SF₆气体钢瓶与六氟化硫气体出口管(16)相连接，打开手动球阀C₄(35)、电磁阀V₃(38)、手动球阀C₆(39)和钢瓶阀门，再打开手动球阀C₅(36)，开启液态灌装机(15)，将SF₆气体灌装到钢瓶中，当钢瓶的质量为40kg～50kg，停止液态灌装机(15)，关闭手动球阀C₆(39)和钢瓶阀门，拆卸并移走钢瓶，重新更换另一个处于真空状态的40L SF₆气体钢瓶进行SF₆气体灌装，灌装完成后，关闭电磁阀V₃(38)、手动球阀C₄(35)和手动球阀C₅(36)；一种六氟化硫和四氟化碳混合气体预分离装置包括混合气体入口管(1)、干燥器(2)、过滤器(3)、压缩机(4)、风冷器(5)、第一气体分离塔(6)、第二气体分离塔(7)、‑40℃制冷机组(8)的第一热交换器(9)、‑40℃制冷机组(8)的第二热交换器(10)、第一液位计(11)、第二液位计(12)、称重传感器(13)、温度传感器(14)、液态灌装机(15)、六氟化硫气体出口管(16)、四氟化碳充装压缩机(49)和四氟化碳气体出口管(34)；所述的混合气体入口管(1)与手动球阀C₁(17)的入口端相连接，手动球阀C₁(17)的出口端与电磁阀V₁(19)入口端相连接，手动球阀C₁(17)与电磁阀V₁(19)之间设有第一压力表(18)，电磁阀V₁(19)的出口端与稳压阀F₁(20)的一端相连接，稳压阀F₁(20)的另一端与干燥器(2)的入口端相连接，干燥器(2)的出口端与过滤器(3)的一端相连接，干燥器(2)与过滤器(3)之间设有第一压力传感器(22)，过滤器(3)的另一端与手动球阀C₂(23)的一端相连接，手动球阀C₂(23)的另一端与压缩机(4)的入口端相连接，压缩机(4)的出口端与风冷器(5)的一端相连接，风冷器(5)的另一端与单向阀S₁(24)的入口端相连接，单向阀S₁(24)的出口端与电磁阀V₂(26)的入口端相连接，单向阀S₁(24)与电磁阀V₂(26)之间设有第一压控开关(25)，电磁阀V₂(26)的出口端与手动球阀C₃(27)的入口端相连接；所述的第一气体分离塔(6)的下端与第二气体分离塔(7)的上端之间设有与第一气体分离塔(6)和第二气体分离塔(7)分别相连通的不锈钢管(28)，在不锈钢管(28)上设有电动球阀DF₁(29)；手动球阀C₃(27)的出口端分别与第一气体分离塔(6)的底端和电动球阀DF₁(29)的一端相连接；手动球阀C₁₀(48)的一端分别与第一气体分离塔(6)的底端和电动球阀DF₁(29)的一端相连接，手动球阀C₁₀(48)的另一端分别与第二气体分离塔(7)的上端和电动球阀DF₁(29)另一端相连接；第一气体分离塔(6)内设有‑40℃制冷机组(8)的第一热交换器(9)，第二气体分离塔(7)内设有‑40℃制冷机组(8)的第二热交换器(10)，‑40℃制冷机组(8)的第一热交换器(9)上设有制冷剂进口阀D₁(8‑1)，‑40℃制冷机组(8)的第二热交换器(10)上设有制冷剂进口阀D₂(8‑2)；所述的第一气体分离塔(6)的上端与手动球阀C₇(30)的一端相连接，手动球阀C₇(30)的另一端与电磁阀V₄(31)的入口端相连接，电磁阀V₄(31)的出口端与稳压阀F₂(32)的入口端相连接，稳压阀F₂(32)的出口端与四氟化碳充装压缩机(49)的入口端相连通，四氟化碳充装压缩机(49)的出口端与手动球阀C₉(33)的一端相连通，四氟化碳充装压缩机(49)与手动球阀C₉(33)之间设有第二压控开关(46)和第四压力表(47)，手动球阀C₉(33)的另一端与四氟化碳气体出口管(34)的一端连接；所述的第二气体分离塔(7)的下端与手动球阀C₄(35)的一端相连接，手动球阀C₄(35)的另一端与手动球阀C₅(36)的一端相连接，手动球阀C₅(36)的另一端与液态灌装机(15)的入口端相连接，液态灌装机(15)的出口端与单向阀S₂(37)的入口端相连接，单向阀S₂(37)的出口端与电磁阀V₃(38)的入口端相连接，电磁阀V₃(38)的出口端与手动球阀C₆(39)的入口端相连接，电磁阀V₃(38)与手动球阀C₆(39)之间设有第三压力表(40)和第二安全阀(41)，手动球阀C₆(39)的出口端与六氟化硫气体出口管(16)相连通；所述的第一气体分离塔(6)外部设有第一液位计(11)，第一气体分离塔(6)的上端设有第二压力传感器(6‑4)，且第一气体分离塔(6)的上端与手动球阀C₈(6‑1)的一端相连接，手动球阀C₈(6‑1)的另一端分别与第二压力表(6‑3)和第一安全阀门(6‑2)相连接；所述的第二气体分离塔(7)外部设有第二液位计(12)，第二气体分离塔(7)的外部底端设有称重传感器(13)，第二气体分离塔(7)内下部设有温度传感器(14)。