发明名称 RESONATEUR A ONDES DE LAMB
摘要 Résonateur à ondes de Lamb (100), comportant au moins une couche piézoélectrique (102) et une première électrode (106) disposée contre une première face de la couche piézoélectrique et dont le motif, dans un plan parallèle au plan de la première face de la couche piézoélectrique, comporte au moins deux doigts (108) et un bras de contact (110), chacun des doigts comportant un premier côté en contact avec ledit bras et deux autres côtés parallèles l'un par rapport à l'autre et espacés l'un de l'autre d'une distance W égale à : avec n ∈ Nvalatéral : vitesse de propagation acoustique des ondes de Lamb,n : ordre du mode de résonance,f : fréquence de résonance du résonateur,des portions (114) de la couche piézoélectrique se trouvant au niveau du plan de la première face, entre les doigts de la première électrode étant gravées au moins partiellement.
申请公布号 FR2922696(A1) 申请公布日期 2009.04.24
申请号 FR20070058470 申请日期 2007.10.22
申请人 STMICROELECTRONICS SA SOCIETE ANONYME;CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (C.N.R.S.) 发明人 BELOT DIDIER;CATHELIN ANDREIA;SHIRAKAWA ALEXANDRE;PHAM JEAN MARIE;JARY PIERRE;KERHERVE ERIC
分类号 H03H9/02;H01L41/083;H03H9/54 主分类号 H03H9/02
代理机构 代理人
主权项
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