| 发明名称 | 用于玻璃基板的清洗设备 | ||
| 摘要 | 本发明提出了一种用于玻璃基板的清洗设备，包括能够加热清洗液的加热装置，加热装置具有第一入口和第一出口；用于清洗玻璃基板的清洗装置，清洗装置具有第二入口和第二出口，其中第二入口能与第一出口连通，其中，在连通第二入口与第一出口的管线上设置过滤装置。该清洗设备能提高对玻璃基板的清洗效果。 | ||
| 申请公布号 | CN105127140A | 申请公布日期 | 2015.12.09 |
| 申请号 | CN201510544237.0 | 申请日期 | 2015.08.28 |
| 申请人 | 武汉华星光电技术有限公司 | 发明人 | 刘明文 |
| 分类号 | B08B3/10(2006.01)I;B08B3/14(2006.01)I;B08B11/04(2006.01)I | 主分类号 | B08B3/10(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人 | 张少辉;刘华联 |
| 主权项 | 一种用于玻璃基板的清洗设备，其特征在于，包括：能够加热清洗液的加热装置，所述加热装置具有第一入口和第一出口，用于清洗玻璃基板的清洗装置，所述清洗装置具有第二入口和第二出口，其中所述第二入口与所述第一出口连通，其中，在连通所述第二入口与所述第一出口的管线上设置过滤装置。 | ||
| 地址 | 430070 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋 | ||