压印设备和使用该压印设备的物品制造方法

摘要

本发明提供一种压印设备和使用该压印设备的物品制造方法。该压印设备将形成在模具上的图案转印到衬底上的树脂。该压印设备包括：形状校正机构，被配置为向该模具施加力从而使形成在该模具上的图案区域变形；加热机构，被配置为加热形成在该衬底上的衬底侧图案区域从而使该衬底侧图案区域变形；和控制单元，被配置为获得关于形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别的信息，并且基于获得的信息控制该形状校正机构和晶片加热机构以便减小形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别。

主权项

一种使衬底上的多个衬底侧图案区域上的树脂与模具上的图案区域接触的压印设备，其特征在于，所述压印设备包括：第一机构，被配置为向该模具施加力，从而使该图案区域变形；第二机构，被配置为通过加热该衬底侧图案区域来将非均匀的温度分布给予该衬底侧图案区域，从而使该衬底侧图案区域变形；和控制单元，被配置为获得该图案区域和该衬底侧图案区域之间的形状差别信息，并且基于获得的形状差别信息通过使用该第一机构来控制该图案区域的形状，并且基于获得的形状差别信息通过使用该第二机构来控制该衬底侧图案区域中的温度分布。