发明名称 |
使用声能处理基板的系统、设备和方法 |
摘要 |
本发明涉及一种使用声能处理基板的系统、设备和方法。在一个方面,本发明可以是处理扁平制品的系统,包括:支架,其支撑扁平制品;分配器,其将液体施加到扁平制品的第一表面;换能器组件,其包括:具有纵向轴线的传输结构;第一组换能器在纵向轴线的第一侧以间隔开的方式声学地联接到传输结构;第二组换能器在纵向轴线的第二侧以间隔开的方式声学地联接到传输结构;第一组和第二组换能器沿纵向轴线交错;并且,其中当分配器将液体施加到扁平制品的第一表面时,在传输结构和扁平制品的第一表面之间形成液体薄膜。 |
申请公布号 |
CN105142808A |
申请公布日期 |
2015.12.09 |
申请号 |
CN201480008441.4 |
申请日期 |
2014.02.03 |
申请人 |
艾奎昂系统有限责任公司 |
发明人 |
约翰·A·考伯勒 |
分类号 |
B08B3/12(2006.01)I;B08B7/02(2006.01)I;H01L21/302(2006.01)I |
主分类号 |
B08B3/12(2006.01)I |
代理机构 |
北京京万通知识产权代理有限公司 11440 |
代理人 |
许天易 |
主权项 |
一种处理扁平制品的系统,其包括:支架,其用于支撑扁平制品;分配器,其用于将液体施加到所述支架上的所述扁平制品的第一表面;换能器组件,包括:传输结构,其具有纵向轴线;第一组换能器,其用于产生声能,所述第一组换能器在所述纵向轴线的第一侧以间隔开的方式声学地联接到所述传输结构;第二组换能器,其用于产生声能,所述第二组换能器在所述纵向轴线的第二侧以间隔开的方式声学地联接到传输结构;所述第一组换能器和所述第二组换能器沿所述纵向轴线交错;和所述换能器组件设置成使得当所述分配器将液体施加到所述支架上的所述扁平制品的所述第一表面时,在所述传输结构和所述扁平制品的所述第一表面之间形成液体薄膜。 |
地址 |
美国宾夕法尼亚州 |