| 摘要 |
1. Способ измерения анизотропии зоны (39) поверхности (17) элемента (1), содержащего, по меньшей мере, один делящийся материал, содержащий этапы, на которых: ! направляют пучок света на поверхность (17); и ! пропускают пучок света, отраженного от поверхности (17), в поляризационный анализатор (27) с изменяемым направлением (Р) анализа, ! отличающийся тем, что содержит этапы, на которых: ! направляют пучок света из поляризационного анализатора (27) в устройство (31) получения цифровых изображений, ! получают, по меньшей мере, одно цифровое изображение (31) зоны (39) поверхности (17) элемента (1), и ! обрабатывают полученное цифровое изображение для измерения анизотропии. ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что содержит этапы, на которых: ! получают первое изображение зоны (39) при первом направлении (Р) анализа поляризационного анализатора (27), ! получают второе изображение зоны (39) при втором направлении (Р) анализа поляризационного анализатора, и ! делят, пиксель за пикселем, первое изображение на второе изображение для формирования картографического изображения измерений анизотропии зоны (39). ! 3. Способ по п.2, отличающийся тем, что первое и второе направления (Р) анализа, по существу, перпендикулярны. ! 4. Способ по п.3, отличающийся тем, что для элемента, по меньшей мере, частично полученного осаждением материала в направлении (R) осаждения, первое направление, по существу, перпендикулярно направлению (R) осаждения вблизи зоны (39). ! 5. Способ по любому из пп.2-4, отличающийся тем, что среднее из значений пикселей вычисляют, по меньшей мере, в одном окне (46) картографического изображения. ! 6. Способ по п.5, отличающийся тем, что окно соответствует области пове� |
