用于化学机械抛光电子、机械和光学器件用基底材料的含水抛光组合物和方法

摘要

本发明涉及一种含水抛光组合物，其包含：(A)当其分散在pH为3-9的含水介质中时带正电荷的磨料颗粒，这通过电泳淌度证明；(B)水溶性和水分散性的含羟基组分，其选自：(b1)脂族和脂环族羟基羧酸，其中羟基与羧酸基的摩尔比例为至少1；(b2)具有至少一个羟基的羟基羧酸(b1)的酯和内酯；和(b3)其混合物；以及(C)选自以下的水溶性和水分散性聚合物组分：(c1)线性和支化的氧化烯烃聚合物；(c2)线性和支化的脂族和脂环族聚(N-乙烯基酰胺)聚合物；和(c3)重均分子量小于100,000道尔顿的阳离子聚合絮凝剂；以及一种抛光电子、机械和光学器件用基底材料的方法。

主权项

一种含水抛光组合物，其包含：(A)至少一种类型的包含或由二氧化铈组成的磨料无机颗粒(A)，当其分散在pH为3‑9的含水介质中时带正电荷，这通过电泳淌度证明；(B)至少一种水溶性和水分散性的含羟基组分，其选自：(b1)在分子上具有至少三个碳原子、至少两个羟基和至少一个羧酸基的脂族和脂环族羟基羧酸，其中羟基与羧酸基的摩尔比例为至少2；(b2)具有至少一个选自内酯基、酯化羟基、酯化羧酸基及其混合物的基团的羟基羧酸(b1)酯，其条件是至少两个羟基存在于(b2)中；和(b3)其混合物；以及(C)至少一种选自以下的水溶性和水分散性聚合物组分：(c1)线性和支化的氧化烯烃均聚物和共聚物；(c2)线性和支化的脂族和脂环族聚(N‑乙烯基酰胺)均聚物和共聚物；和(c3)重均分子量小于100,000道尔顿的阳离子聚合絮凝剂，其中所述含水抛光组合物具有2.5‑4的pH。