腔室气流控制系统及方法

摘要

本发明提供一种腔室气流控制系统，包括多个设有风机过滤单元的腔室、监控单元、气体检测单元和功率传感器，所述功率传感器与所述风机过滤单元连接，用于检测所述各腔室中风机过滤单元的输出功率并发送到所述监控单元，所述气体检测单元用于将所述腔室的气体状态信息发送到所述监控单元，所述监控单元将所述气体检测单元和所述功率传感器的信息进行处理，并向所述风机过滤单元发送控制指令，控制所述腔室中风机过滤单元的输出功率以改变气体流向。本发明还提供一种腔室气流控制方法，实现气流方向由换气量大的腔室流向换气量小的腔室的功能，达到了降低腔室中生产的产品的品质风险、提高产品良率的技术效果。

主权项

一种腔室气流控制系统，其特征在于，包括多个设有风机过滤单元的腔室、中央监控单元、气体检测单元和功率传感器，所述功率传感器与所述风机过滤单元连接，用于检测所述各腔室中风机过滤单元的输出功率并发送到所述中央监控单元，所述气体检测单元用于将所述腔室的气体状态信息发送到所述中央监控单元，所述中央监控单元将所述气体检测单元和所述功率传感器的信息进行处理，并向所述风机过滤单元发送控制指令，控制所述腔室中风机过滤单元的输出功率以改变气体流向。