一种红外光谱分析含氟气体用气体池及在含氟气体分析检测中的应用

摘要

本发明公开了一种红外光谱分析含氟气体用气体池及在含氟气体分析检测中的应用，包括基座、池体、池窗和温度压力数显控制器；所述基座位于池体底部用于架设池体；所述温度压力数显控制器集成有加热器、温度传感器和压力传感器，用于控制池体内部的温度和压力；所述池体两端各设置有一个端口，所述池窗分别与所述池体的两端的端口密封连接。该气体池耐腐蚀性好、密封性能高、安全性能好、残留和污染少、窗片使用寿命长、操作方便快捷，且能够更稳定、准确地取样、检测。还提供了此气体池在含氟气体分析检测中的应用，主要用于样品为含氟气体样品或具有挥发性的含氟液体样品如WF₆、SF₆、NF₃、HF等的红外光谱分析。

主权项

一种红外光谱分析含氟气体用气体池，包括池体和两个池窗，其特征在于，还包括基座和温度压力数显控制器；所述基座可拆卸式连接于池体底部用于架设池体；所述温度压力数显控制器集成有加热器、温度传感器和压力传感器，用于控制池体内部的温度和压力；所述池体相对两端各设置有一个端口，所述两个池窗分别与两个端口密封连接；池体顶部设置有进气口和出气口，所述进气口能与气源形成可拆卸连接；所述出气口为三通接头，第一端与池体连接，第二端与抽真空装置可拆卸连接，第三端与压力传感器可拆卸连接；所述池体外部还包覆有加热板，所述加热板外部再包覆有一层保温板。