一种导磁性材料磁控溅射平面靶的拼靶机构

摘要

一种导磁性材料磁控溅射平面靶的拼靶机构，属于磁控溅射镀膜领域，靶体内通过螺栓固定着导磁体，在靶体下端通过螺钉固定着背板，背板与靶体之间设有O型密封圈，导磁体上设有磁体组件，结构设计合理，拼靶简单牢靠，并且安装靶体简单方便，减少员工的额劳动强度，降低工件的损伤。提高靶材的利用率，降低企业的运营成本。

主权项

一种导磁性材料磁控溅射平面靶的拼靶机构，靶体（1）内通过螺栓（2）固定着导磁体（3），导磁体（3）上设有磁体组件（6）,其特征在于，在靶体（1）下端通过螺钉（12）固定着背板（4），背板（4）与靶体（1）之间设有O型密封圈（5），背板（4）下端固定着至少三块中部靶材（7），在背板（4）与中部靶材（7）之间设有石墨垫（8），靠外侧的两个中部靶材（7）分别连接着端部靶材（9），所述的端部靶材（9）的边沿上设有压条（11），所述的压条（11）通过内六角螺栓（10）固定在背板（4）和靶体（1）上。