扫描工作台各速度段进行激光直写二值图案的方法与装置

摘要

本发明公开了扫描工作台各速度段进行激光直写二值图案的方法与装置，将待加工元件在二维空间上的二值图分割成等大的网状像素点，计算每个像素点对应的曝光时间和曝光强度；规划扫描工作台的速度曲线；根据速度曲线和像素点的大小D_pp确定处于加速段、匀速段和减速段的像素点，并计算待加工元件的每一扫描行对应的各个像素点的坐标位置；对边界全部或部分位于加速段或减速段且曝光强度不为零的像素点对应的曝光数据进行补偿；充分利用了扫描工作台的加、减速段进行直写曝光，这样，在保证直写质量的前提下，最大限度地压缩了扫描工作台非曝光区的长度，节省了直写时间，提高了直写效率。

主权项

扫描工作台各速度段进行激光直写二值图案的方法，其特征是，包括以下步骤：将待加工元件在二维空间上的二值图像沿水平和垂直方向上分割成等大的网状像素点，像素点各边长均为D_pp，计算每个像素点对应的曝光时间和曝光强度；根据扫描工作台扫描行两端各自的非曝光区长度、待加工元件在扫描直写曝光方向上的尺寸以及扫描工作台的加速度大小规划扫描工作台的速度曲线；根据速度曲线和像素点的大小D_pp确定处于加速段、匀速段和减速段的像素点，并计算待加工元件的每一扫描行对应的各个像素点的坐标位置；对边界全部或部分位于加速段或减速段且曝光强度不为零的像素点对应的曝光数据进行补偿；以声光调制器最小分辨力为单位量化各个像素点的曝光强度；分区存放像素点的位置信息和曝光强度，利用曝光强度数据驱动声光调制器调制直写激光强度实现对光刻胶变剂量曝光，在扫描工作台的加速、减速以及匀速运动过程中均对工作台上的光刻胶进行曝光直写。