一种电容式压力传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种电容式压力传感器，包括LCP衬底、下金属电极板、LCP绝缘介质层、金属引线、石墨烯电极板；LCP衬底通过DRIE腐蚀得到凹槽；将通过层压制成的下金属电极板上覆有LCP绝缘介质层薄膜与LCP衬底再次通过层压粘合在一起，形成真空密封腔；在LCP绝缘介质层薄膜上溅射一层金属，形成金属引线；在LCP绝缘介质薄膜与部分金属引线上旋涂一层氧化石墨烯；高温加热，将氧化石墨烯还原成石墨烯，形成上电极板。该压力传感器利用有机柔性材料LCP作为衬底，使得压力传感器可以弯曲变形，利用LCP薄膜作为绝缘介质层使得压力传感器的灵敏度得到了极大地提高。该压力传感器可以广泛适用于气压检测、生物医学等领域。本发明同时还提供传感器的制备方法，简单易行。

主权项

一种电容式压力传感器，其特征在于，该压力传感器包括柔性衬底（1）、下金属电极板（2）、LCP绝缘介质层（3）、金属引线（4）和石墨烯电极板（5）；柔性衬底（1）和下金属电极板（2）粘合，柔性衬底（1）中设有真空密封腔（6），真空密封腔（6）的顶面为下金属电极板（2）的底面；LCP绝缘介质层（3）连接在下金属电极板（2）的上表面，且LCP绝缘介质层（3）覆盖部分下金属电极板（2）；LCP绝缘介质层（3）位于真空密封腔（6）的上方，且覆盖整个真空密封腔（6）；金属引线（4）连接在LCP绝缘介质层（3）的上表面；石墨烯电极板（5）连接在LCP绝缘介质层（3）的上表面和金属引线（4）的部分上表面。