一种混合材料的薄膜电阻蒸发沉积装置

摘要

本发明公开了一种混合材料的薄膜电阻蒸发装置。装置采用单个电源和单个变压设备，而多个蒸发舟并联接入电路。根据电阻公式R＝ρ·L/S，ρ为电阻的电阻率，L为电阻的长度，S为电阻的横截面积。在蒸发舟材料，厚度和长度固定的情况下，改变蒸发舟宽度，来调节蒸发舟电阻大小。各个蒸发舟上可获得不同蒸发功率比，从而可调节不同蒸发舟上材料的沉积速率比。

主权项

一种混合材料的薄膜电阻蒸发沉积装置，包括第一蒸发装置(13)和第二蒸发装置(14)，一个电源控制装置(2)，一个电压转换装置(3)，其特征在于：所述第一蒸发装置(13)和第二蒸发装置(14)组成蒸发装置，位于整个沉积系统的真空系统内。第一蒸发装置(13)和第二蒸发装置(14)并联接入电压转换装置(3)的输出级(次级)，电压转换装置(3)的输入级(初级)串联电源控制装置(2)接入外接电源(1)；在所述第一蒸发装置(13)包含第一电流计(9)和第一蒸发舟(11)，所述第二蒸发装置(14)包含第二电流计(8)和第二蒸发舟(10)；第一蒸发装置(13)和第二蒸发装置(14)组成的蒸发装置与电压转换装置(3)的输出级串联，所述蒸发装置与电压装换装置中间串联第三电流计(5)。