一种MEMS麦克风芯片、传声器和音频设备

摘要

本申请公开了一种MEMS麦克风芯片，由底部到顶部依次包括基底层、第一绝缘层、振膜层、第二绝缘层和背极层；振膜层的振膜有效振动区的周边连接有振膜固定部；背极层上设置有背极区，背极区通过第一切割线与背极层的其余部位相隔离，第一切割线在振膜层上的投影围绕在振膜有效振动区的周边，背极区通过其周边的背极固定部固定于第二绝缘层上方；振膜层上还设置有第二切割线，第二切割线围绕背极区在振膜层上的投影区域的外边缘以及振膜固定部的外边缘设置，使振膜层上位于第二切割线内的区域与位于第二切割线外的区域隔离，第二切割线外的振膜层不产生寄生电容，降低了寄生电容。本申请还公开了一种包括该MEMS麦克风芯片的传声器和音频设备。

主权项

一种MEMS麦克风芯片，由底部到顶部依次包括基底层(1)、第一绝缘层(2)、振膜层(3)、第二绝缘层(4)和背极层(5)，所述基底层(1)上设置有声腔；所述振膜层(3)上覆盖于所述声腔的部位为振膜有效振动区(301)，所述振膜有效振动区(301)的周边连接有振膜固定部(302)，所述振膜有效振动区(301)通过所述振膜固定部(302)固定于所述第一绝缘层(2)上方；所述背极层(5)上设置有背极区(501)，所述背极区(501)通过第一切割线(a)与所述背极层(5)的其余部位相隔离，所述第一切割线(a)在所述振膜层(3)上的投影围绕在所述振膜有效振动区(301)的周边，所述背极区(501)通过其周边的背极固定部(502)固定于所述第二绝缘层(4)上；其特征在于，所述振膜层(3)上还设置有第二切割线(b)，所述第二切割线(b)围绕所述背极区(501)在所述振膜层(3)上的投影区域的外边缘以及振膜固定部(302)的外边缘设置，使振膜层(3)上位于所述第二切割线(b)内的区域与位于所述第二切割线(b)外的区域隔离。