发明名称 |
高分辨率振幅反差成像 |
摘要 |
本发明描述了一种用于进行柔软物质目标(17)的高分辨率电子显微术的方法。所述方法包括利用具有球面像差校正(10)的电子显微镜(1)照射柔软物质目标,所述球面像差校正在散射在柔软物质目标上的热漫散射电子的频带内具有基本上恒定的传递函数。所述方法包括检测在所述柔软物质上散射的热漫散射(TDS)电子,然后利用所检测的热漫散射电子获得所述柔软物质目标的图像。 |
申请公布号 |
CN105143864A |
申请公布日期 |
2015.12.09 |
申请号 |
CN201480008838.3 |
申请日期 |
2014.02.14 |
申请人 |
安特卫普大学;FEI公司 |
发明人 |
D·范 德克;U·洛肯;H·施塔克;S·巴尔斯 |
分类号 |
G01N23/04(2006.01)I;H01J37/26(2006.01)I |
主分类号 |
G01N23/04(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 31100 |
代理人 |
蔡悦 |
主权项 |
一种用于进行目标的高分辨率电子显微术的方法,所述方法包括:‑利用具有球面像差校正的电子显微镜照射柔软物质目标,所述球面像差校正在以原子级分辨率在所述目标上散射的热漫散射电子的频带内具有基本上恒定的传递函数,其特征在于,所述方法包括:‑检测在所述柔软物质上散射的热漫散射(TDS)电子,然后利用所检测到的热漫散射电子获得所述柔软物质目标的图像。 |
地址 |
比利时安特卫普 |