| 发明名称 | 基于氨基乙烯基硅烷的前体 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种基于氨基乙烯基硅烷的前体，所述前体具有以下通式：[RR<sup>1</sup>N]<sub>x</sub>SiR<sup>3</sup><sub>y</sub>(R<sup>2</sup>)<sub>z</sub>其中x+y+z＝4，x＝2，y＝0以及z＝2；R、R<sup>1</sup>和R<sup>3</sup>各自选自氢、C<sub>1</sub>-C<sub>10</sub>烷烃、C<sub>2</sub>-C<sub>10</sub>烯烃或C<sub>4</sub>-C<sub>12</sub>芳香基团；R<sup>2</sup>选自乙烯基、烯丙基或包含乙烯基的其他官能团。 | ||
| 申请公布号 | CN102491990B | 申请公布日期 | 2015.12.09 |
| 申请号 | CN201110404812.9 | 申请日期 | 2009.11.12 |
| 申请人 | 气体产品与化学公司 | 发明人 | V·沃萨;A·D·约翰逊;萧满超 |
| 分类号 | C07F7/10(2006.01)I | 主分类号 | C07F7/10(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 邹雪梅;林森 |
| 主权项 | 一种前体，选自双(异丙基氨基)二乙烯基硅烷(BIPADVS)、双(异丙基氨基)二烯丙基硅烷、双(叔丁基氨基)二乙烯基硅烷、双(叔丁基氨基)二烯丙基硅烷、双(甲基乙基氨基)二烯丙基硅烷、双(甲基乙基氨基)二乙烯基硅烷、二哌啶基二乙烯基硅烷和二吡咯烷基二乙烯基硅烷。 | ||
| 地址 | 美国宾夕法尼亚州 | ||