一种扩散炉管进气装置

摘要

本实用新型涉及一种扩散炉管进气装置，包括混气罐、分别直接与所述混气罐连通的第一进气管和第二进气管，所述混气罐的出气口与扩散炉管的进气口连通，大氮通过所述第一进气管进入所述混气罐，小氮携POCl₃通过所述第二进气管进入所述混气罐，所述第二进气管的出气口比所述第一进气管的出气口更靠近所述扩散炉管的进气口。气体先在混气罐中混合再进入扩散炉管，保证POCl₃气体可以更均匀地沉积在硅片表面，同时本实施例中还避免了由于POCl₃气管倾斜带来的方阻分层问题，提高了扩散方阻的均匀性；另外第二进气管的出气口比第一进气管的出气口更靠近扩散炉管的进气口，可以保证POCl₃顺利进气从而与大氮均匀混合，提高扩散方阻的均匀性。

主权项

一种扩散炉管进气装置，其特征在于：包括混气罐、分别直接与所述混气罐连通的第一进气管和第二进气管，所述混气罐的出气口与扩散炉管的进气口连通，大氮通过所述第一进气管进入所述混气罐，小氮携POCl₃通过所述第二进气管进入所述混气罐，所述第二进气管的出气口比所述第一进气管的出气口更靠近所述扩散炉管的进气口。