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发明名称 窒化物半導体自立基板の製造方法
摘要
申请公布号 JP5831763(B2) 申请公布日期 2015.12.09
申请号 JP20120194963 申请日期 2012.09.05
申请人 クアーズテック株式会社 发明人 阿部 芳久;小宮山 純;大石 浩司;吉田 晃;江里口 健一;鈴木 俊一
分类号 C30B29/38;C23C16/01;C23C16/02;C23C16/34;C30B25/18;H01L21/205 主分类号 C30B29/38
代理机构 代理人
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