具有吹扫气体系统的干式真空泵和吹扫方法

摘要

本发明提供正排量干泵，包括：多个真空抽汲级，其包括由一个或多个传动轴驱动的相应的多个抽汲机构，以通过抽汲级将流体连续地从高真空级处的泵入口抽汲到低真空级处的泵出口；容纳支承传动轴以便其进行旋转运动的轴承组件的润滑室，传动轴通过润滑室的顶板的开口从高真空级延伸到润滑室；级间吹扫端口，气体能通过级间吹扫端口而在高真空级的下游的级间位置处进入泵，且仅传送通过级间端口的下游的真空抽汲级或各个真空抽汲级；位于润滑室中的润滑室吹扫端口，吹扫气体能通过润滑室吹扫端口而从吹扫气体源流出；其中级间端口连接到润滑室上，以控制润滑室中的吹扫气体的压力，从而阻止抽汲气体在使用期间通过顶板开口从高真空室传送到润滑室。

主权项

一种正排量干泵，包括：多个真空抽汲级，其包括由一个或多个传动轴驱动的相应的多个抽汲机构，以通过所述抽汲级将流体连续地从高真空级处的泵入口抽汲到低真空级处的泵出口；容纳用于支承所述传动轴以便其进行旋转运动的轴承组件的润滑室，所述传动轴通过所述润滑室的顶板的开口从所述高真空级延伸到所述润滑室；级间吹扫端口，气体能通过所述级间吹扫端口而在所述高真空级的下游的级间位置处进入所述泵，并且仅传送通过所述级间吹扫端口的下游的所述真空抽汲级或各个真空抽汲级；位于所述润滑室中的润滑室吹扫端口，吹扫气体能通过所述润滑室吹扫端口而从吹扫气体源流出；其中，所述级间吹扫端口连接到所述润滑室上，以控制所述润滑室中的吹扫气体的压力，从而阻止抽汲气体在使用期间通过所述顶板的所述开口从所述高真空级传送到所述润滑室；其中，在所述级间吹扫端口处的抽汲气体的压力响应于所述高真空级中的抽汲气体的压力，而所述润滑室中的吹扫气体的压力响应于所述级间吹扫端口处的抽汲气体的压力，使得所述高真空级的压力的变化导致所述润滑室中的压力有变化，并且所述润滑室中的吹扫气体的压力在所述高真空级中的压力变动期间维持高于所述高真空级中的压力。