同步移相干涉测量系统

摘要

本实用新型涉及一种同步移相干涉测量系统，主要包括激光器(1)、第一分光棱镜(2)、第二分光棱镜(4)和第三分光棱镜(7)、半反半透镜(3)、第一CCD(5)、第二CCD(6)、第三CCD(8)和第四CCD(9)和参考镜(10)，第一分光棱镜(2)三面分别设置激光器(1)、参考镜(10)和被测镜(11)，第一分光棱镜(2)的第四面对应参考镜(10)的方向设置有半反半透镜(3)。本实用新型提供的同步移相干涉测量系统实现了四步移相的静态采集，从根本上杜绝了环境振动对测量结果的影响。

主权项

一种同步移相干涉测量系统，其特征在于：所述同步移相干涉测量系统主要包括激光器(1)、多个分光棱镜、半反半透镜(3)、多个CCD和参考镜(10)，其中，多个分光棱镜包括第一分光棱镜(2)、第二分光棱镜(4)和第三分光棱镜(7)，多个CCD包括第一CCD(5)、第二CCD(6)、第三CCD(8)和第四CCD(9)，所述第一分光棱镜(2)三面分别设置激光器(1)、参考镜(10)和被测镜(11)，激光器(1)、第一分光棱镜(2)和被测镜(11)设置在同一光轴线上，第一分光棱镜(2)的第四面对应参考镜(10)的方向设置有半反半透镜(3)，半反半透镜(3)的两个出射光方向分别对应设置第二分光棱镜(4)和第三分光棱镜(7)，第二分光棱镜(4)对应设置第一CCD(5)和第二CCD(6)，第三分光棱镜(7)对应设置第三CCD(8)和第四CCD(9)。