发明名称 |
パッシベーション層形成用組成物、パッシベーション層付半導体基板及びその製造方法、太陽電池素子及びその製造方法、並びに太陽電池 |
摘要 |
本発明のパッシベーション層形成用組成物は、下記一般式(I)で表される有機アルミニウム化合物と、チタンアルコキシド、ジルコニウムアルコキシド及びシリコンアルコキシドからなる群より選ばれる少なくとも1種のアルコキシド化合物と、を含む。下記一般式(I)中、R1はそれぞれ独立して炭素数1〜8のアルキル基を表す;nは0〜3の整数を表す;X2及びX3はそれぞれ独立して酸素原子又はメチレン基を表す;R2、R3及びR4はそれぞれ独立して水素原子又は炭素数1〜8のアルキル基を表す。 |
申请公布号 |
JPWO2014010743(A1) |
申请公布日期 |
2016.06.23 |
申请号 |
JP20140524902 |
申请日期 |
2013.07.12 |
申请人 |
日立化成株式会社 |
发明人 |
足立 修一郎;吉田 誠人;野尻 剛;倉田 靖;田中 徹;織田 明博;早坂 剛 |
分类号 |
H01L21/316;H01L31/0216;H01L31/068 |
主分类号 |
H01L21/316 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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