一种砷化镓多晶铸锭方法

摘要

一种砷化镓多晶铸锭方法，它包括以下几个步骤：1)装料，2)升温，3)化料，4)走车，5)降温，6)出炉：待降温到100℃以下后将石英管从单晶炉中取出，在通风处打破石英管，取出多晶锭条；7)取样测试：多晶锭条取样测试，电学参数测试合格后即可投入单晶生长。该方法优点是可将合成尾料、单晶尾料以及单晶生长过程中，偶尔也有漏气或因停电引起的多晶料，重新溶化，重新凝固，获得砷化镓多晶铸锭，操作方便，降低成本。

主权项

一种砷化镓多晶铸锭方法，其特征在于：它包括以下几个步骤：1)装料：砷化镓多晶料放入石英舟中，再将石英舟放入石英管中，放入按石英管剩余体积计算出的砷量，然后抽真空封管；2)升温：将上述封好的石英管装入12段水平单晶炉中，升温，高温6个区除高一区外直接升到1260℃，高一区为1200℃；界面区下部温度为1250℃，侧面温度为1232℃；中温区一区为1190℃，中二到中四为1180℃，中五区为1100℃，温度升到后开始化料；3)化料：在4‑6小时内，通过观测窗口和炉体前后观看，确认铸锭料全部熔化后，开始降高温2‑6区温度为1245℃，界面区温度和中温区的温度同上；4)走车：温度稳定后，开始移动加热体，移动速度为20mm/h；5)降温：从窗口看到溶体已全部凝固后，断电降温；6)出炉：待降温到100℃以下后将石英管从单晶炉中取出，在通风处打破石英管，取出多晶锭条；7)取样测试：多晶锭条取样测试，电学参数测试合格后即可投入单晶生长。