一种异物检测装置

摘要

本发明公开了一种异物检测装置，所述异物检测装置包括台架、保护柱、光发射器及光接收器，所述保护柱设置在所述台架上，且所述保护柱与所述玻璃基板之间形成有具有预先设定的高度的缝隙，所述光发射器和所述光接收器分别位于所述玻璃基板的相对两侧，且所述光发射器用于朝所述缝隙内照射光，所述光接收器用于接收经过所述缝隙的光，当玻璃基板上有异物时，则会引起光的强度的变化，从而检测出异物的存在。本发明的异物检测装置尤其可用于在薄膜晶体管的制程中检测玻璃基板上的异物，有效防止光罩因微粒等异物产生损伤甚至报废。

主权项

一种异物检测装置，其特征在于，所述异物检测装置包括台架、保护柱、光发射器及光接收器，所述保护柱设置在所述台架上，且所述保护柱与玻璃基板之间形成有具有预先设定的高度的缝隙，所述光发射器和所述光接收器分别位于所述玻璃基板的相对两侧，且所述光发射器用于朝所述缝隙内照射光，所述光接收器用于接收经过所述缝隙的光，所述异物检测装置还包括驱动部及控制器，所述驱动部用于驱动所述保护柱、所述光发射器及所述光接收器同步运动，所述控制器用于控制所述驱动部、所述光发射器及所述光接收器，所述异物检测装置还包括多个振动检测元件，所述多个振动检测元件用于检测保护柱的振动，所述多个振动检测元件均为电子数显千分计，所述电子数显千分计用于测量所述保护柱的顶面在高度方向上的移动，并将该移动的数据输出给所述控制器，所述控制器计算出保护柱在规定时间内的高度变化量或变化率；所述预先设定的高度为100微米至800微米。