制御装置及び制御方法

摘要

本発明に係る制御装置は、液体を吐出することにより被保持体との間に負圧を発生させて被保持体を保持する保持装置に対して供給される液体の流量を制御する。保持装置は、柱状の本体と、本体に形成され、被保持体に臨む平坦状の端面と、端面に形成される凹部と、凹部内に液体を吐出する１以上の流体通路とを備える。制御装置は、凹部内において旋回流が形成されない状態において、凹部内を所定量の液体で満たす。そして、凹部内が所定量の液体で満たされた後に、流体通路から凹部内に吐出される液体により旋回流を形成させる。