| 摘要 |
블랙 매트릭스 재료인 수지와의 밀착성이 양호하고, 해상성도 높으며, 또한, 제조 관리나 비용의 부담을 경감시킬 수 있는 유리 기판의 제공을 목적으로 한다. 유리 기판(2)의 표면에, 탄소수가 14 이상인 소수성기를 갖는 양이온 계면 활성제 또는 평균 분자량이 500 내지 1000만인 양이온 중합체를 포함하는 피막(3)을 갖는 피막을 구비한 유리 기판(1)이다. 이 피막을 형성함으로써, 유리 기판과 수지 재료의 밀착성을 개선시킬 수 있고, 또한 포토리소그래피 프로세스에 의한 해상성도 향상시킬 수 있다. |
