一种单晶硅片抛光液槽用可调节地脚

摘要

一种单晶硅片抛光液槽用可调节地脚，包括与抛光液槽底部卡接的卡接部和与卡接部通过螺纹连接的旋转调整部，卡接部为带有螺帽的螺栓，在螺帽的顶面设置有与抛光液槽底部的横向筋板和纵向筋板相配合卡接的V形槽和U形槽；旋转调整部为圆台状螺帽结构，其内设置有贯通的螺纹孔，卡接部的螺栓与螺纹孔螺纹连接，以实现卡接部高度的调整。本实用新型通过在螺栓结构的卡接部表面设置相互垂直的V形槽和U形槽，且V形槽和U形槽分别与抛光液槽底部的横向筋板和纵向筋板相配合卡接，从而解决了抛光液槽固定及抛光液的排液不畅问题，保证了抛光机抛光液的供应。

主权项

一种单晶硅片抛光液槽用可调节地脚，其特征在于：包括与抛光液槽底部卡接的卡接部（1）和与卡接部（1）通过螺纹连接的旋转调整部（2），所述卡接部（1）为带有螺帽的螺栓，在螺帽的顶面设置有相互垂直的V形槽（102）和U形槽（101），且V形槽（102）和U形槽（101）分别与抛光液槽底部的横向筋板和纵向筋板相配合卡接；所述旋转调整部（2）为圆台状螺帽结构，其内设置有贯通的螺纹孔（204），卡接部（1）的螺栓与螺纹孔（204）螺纹连接，以实现卡接部（1）高度的调整。