薄膜型太阳能电池及其制作方法

摘要

本发明涉及太阳能电池技术领域，具体涉及一种衬底基板表面为平行的沟槽形结构的薄膜型太阳能电池及其制作方法，一种薄膜型太阳能电池，包括基板、设置在基板上的一层用作太阳能电池前电极的透明前电极导电薄膜、设置在透明前电极导电薄膜上的进行光电转换的半导体材料层、设置在半导体材料层上的一层以铝或银制成的用作太阳能电池背电极的背电极层薄膜。基板表面由平行的沟槽形结构构成，子电池的分割处位于基板沟槽的槽边缘，其各子电池的串联也位于沟槽边缘，避免了子电池间的“死光区”。

主权项

一种薄膜型太阳能电池，包括基板（301）、沉积在基板（301）上的一层用作太阳能电池前电极的透明前电极导电薄膜（302）、设置在透明前电极导电薄膜（302）上的进行光电转换的半导体材料层（303）、设置在半导体材料层（303）上的一层以铝或银制成的用作太阳能电池背电极的背电极层薄膜（304），其特征在于：用于沉积薄膜的基板（301）表面由互相平行、间隔相等的沟槽形结构构成，沉积在基板（301）沟槽表面上的一层透明前电极导电薄膜（302）的一个侧面透明前电极导电薄膜（310），使用激光或其他刻蚀方法从沟槽表面上刻蚀掉形成一个个独立的子电池电极，在该沟槽的没有透明前电极导电薄膜（302）的侧面以及其它部分的一层透明前电极导电薄膜（302）上直接设置有一层半导体材料层（303），该半导体材料层（303）也为沟槽形，并且使用激光或其他刻蚀方法将半导体材料层（303）的同样的一个侧面部分（311）刻蚀掉，从而形成一个个与透明前电极导电薄膜（302）相对应的独立的子电池，在该沟槽形的没有半导体材料层（303）的侧面以及其它部分的一层半导体材料层（303）上直接设置有一层背电极层薄膜（304），该背电极层薄膜（304）也为沟槽形，并且使用激光或其他刻蚀方法将背电极薄膜（304）的同样的一个侧面部分（312）刻蚀掉，从而形成一个个与透明前电极导电薄膜（302）相对应的独立的子电池，一个个子电池之间为串联关系，子电池的分割处位于基板（301）的沟槽的槽边缘，其各子电池的串联也位于沟槽的槽边缘。