半导体发光器件及制造该半导体发光器件的方法

摘要

半导体发光器件及制造该半导体发光器件的方法。一种半导体发光器件，该半导体发光器件包括使用导电薄膜和绝缘薄膜形成的光透射电极层，以代替透明电极层，所述半导体发光器件包括：基板；第一半导体层，该第一半导体层形成在所述基板上；有源层，该有源层形成在所述第一半导体层上；第二半导体层，该第二半导体层形成在所述有源层上；光透射电极层，该光透射电极层形成在所述第二半导体层上，所述光透射电极层具有沉积有至少一个导电薄膜和至少一个绝缘薄膜的结构；以及第一电极，该第一电极形成在所述光透射电极层上，其中所述光透射电极层包括至少一个接触部分，以使所述至少一个导电薄膜与所述第一电极接触。

主权项

一种半导体发光器件，该半导体发光器件包括：基板；第一半导体层，该第一半导体层形成在所述基板上；有源层，该有源层形成在所述第一半导体层上；第二半导体层，该第二半导体层形成在所述有源层上；光透射电极层，该光透射电极层形成在所述第二半导体层上，所述光透射电极层具有沉积有至少一个导电薄膜和至少一个绝缘薄膜的结构；第一电极，该第一电极形成在所述光透射电极层上；以及第二电极，该第二电极形成在上面没有形成所述有源层和所述第二半导体层的所述第一半导体层上，其中，所述光透射电极层包括至少一个接触部分，以使所述至少一个导电薄膜与所述第一电极接触，其中，所述光透射电极层还包括：第一导电薄膜，该第一导电薄膜形成在所述第二半导体层上；第一绝缘薄膜，该第一绝缘薄膜形成在所述第一导电薄膜上；第二导电薄膜，该第二导电薄膜形成在所述第一绝缘薄膜上；以及第二绝缘薄膜，该第二绝缘薄膜形成在所述第二导电薄膜上，其中，通过部分地蚀刻所述第一绝缘薄膜、所述第二导电薄膜和所述第二绝缘薄膜，直到暴露出所述第一导电薄膜为止，来形成所述至少一个接触部分，其中，所述第一电极通过所述至少一个接触部分与所述第一导电薄膜和所述第二导电薄膜接触，其中，所述至少一个导电薄膜由Ag形成，并且所述至少一个绝缘薄膜由ZnS形成。