盖体开闭装置

摘要

本发明提供一种盖体开闭装置。该盖体开闭装置包括：载置台，其用于以FOUP的盖体的前表面朝向形成于用于划分FOUP的输送区域的气氛与基板输送区域的气氛的隔壁上的输送口的方式载置FOUP；气体喷出口，其设置在用于开闭输送口的开闭门的与FOUP相对的相对面部上，供给用于去除附着在盖体上的颗粒的吹扫气体；进退机构，其使载置于载置台上的FOUP相对于相对面部进退；控制部，其输出控制信号，使得在从相对面部到FOUP的盖体的距离为5mm以下且FOUP位于盖体与相对面部分离的气体供给有效位置的状态下，从气体喷出口向盖体供给吹扫气体，之后从FOUP拆卸盖体。

主权项

一种盖体开闭装置，其是FOUP的开闭装置，该盖体开闭装置通过使FOUP的基板取出口的口缘部紧贴于利用开闭门进行开闭的输送口的口缘部，并使设置在所述开闭门的与所述FOUP相对的相对面部上的盖体拆卸机构经由FOUP的盖体的前表面侧的开口部进入盖体内，来解除盖体与FOUP主体的卡合并保持该盖体，所述输送口形成于用于划分FOUP的输送区域的气氛与基板输送区域的气氛的隔壁上，其特征在于，该盖体开闭装置包括：载置台，其用于以所述盖体的前表面朝向所述输送口的方式载置FOUP；气体喷出口，其设置在所述相对面部上，供给用于去除附着在所述盖体上的颗粒的吹扫气体；进退机构，其使载置于所述载置台上的FOUP相对于所述相对面部进退；控制部，其输出控制信号，控制所述进退机构使得在从所述相对面部到所述FOUP的盖体的距离为5mm以下且FOUP位于盖体与相对面部分离的气体供给有效位置的状态下，从所述气体喷出口向所述盖体供给吹扫气体，然后在控制所述进退机构使FOUP相对于所述相对面部前进且所述盖体拆卸机构经由所述开口部进入所述盖体内之后从FOUP拆卸盖体。