发明名称 |
一种掩模台垂直运动分量的测量方法 |
摘要 |
一种掩模台垂直运动分量的测量方法属于半导体制造装备技术领域;该方法通过四个激光三角位移传感器的位置坐标构成测量变换阵,利用该变换阵求解掩模台垂直运动分量;由于该方法使用四组独立的位移信息,经过测量模型解算,能够精确地得到掩模台的垂直运动分量,因此测量精度高、测量范围大、直观、易于实现。 |
申请公布号 |
CN104007622B |
申请公布日期 |
2015.12.09 |
申请号 |
CN201410268177.X |
申请日期 |
2013.03.18 |
申请人 |
哈尔滨工业大学 |
发明人 |
黄向东;谭久彬 |
分类号 |
G03F7/20(2006.01)I;G01B11/03(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
代理机构 |
哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 |
代理人 |
张伟 |
主权项 |
一种掩模台垂直运动分量的测量方法,其特征在于:第一激光三角位移传感器(101)、第二激光三角位移传感器(102)、第三激光三角位移传感器(103)和第四激光三角位移传感器(104)的位置坐标分别为(x1,0),(x2,y2),(x3,y3),(x4,0),其中:x1=‑x4<0,x2=‑x3<0,y3=‑y2<0;其垂直方向Z的测量值组成矩阵Sens=[Z1,Z2,Z3,Z4],利用四个传感器坐标位置构成测量变换阵PrinvC,以及公式Dof=PrinvC×Sens,得到掩模台(106)垂直运动分量Dof=[z Rx Ry],其中z为掩模台(106)Z向位置,Rx和Ry分别为掩模台(106)绕x轴和y轴的旋转角。 |
地址 |
150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号 |