发明名称 |
用于制造石英晶体谐振器的晶体基板的加工方法 |
摘要 |
本发明公开一种用于制造石英晶体谐振器的晶体基板的加工方法,该方法利用化学溶剂,并按照预定的侵蚀区域大小、侵蚀时间来加工侵蚀晶体基板,从而实现晶体基板指定区域厚度按预定的设计形式改变,实现化学腐蚀的倒边效果,再制成晶体谐振器;所述的化学溶剂氟化氢氨NH<sub>4</sub>HF<sub>2</sub>溶液。该加工方法可以采用分段分区侵蚀,具有成本低、时间短、表面伤害可控、工损少等特点,是一种新型的石英晶体加工技术和方法,可提升谐振器的电性能参数。其优点是由于本方法能够改变材料性能参数,造成所设计的晶体板厚度或者刚度的特定模式变化,实现晶体谐振器的能陷性能,保证剪切振动在晶体板的边缘很小,以此减少能量向外部的扩散,实现强化剪切振动的目标。 |
申请公布号 |
CN105141271A |
申请公布日期 |
2015.12.09 |
申请号 |
CN201510620846.X |
申请日期 |
2015.09.25 |
申请人 |
江苏海峰电子有限公司 |
发明人 |
柴昆鹏;魏光辉;王骥;许萍;白长庚;朱木典 |
分类号 |
H03H3/02(2006.01)I |
主分类号 |
H03H3/02(2006.01)I |
代理机构 |
连云港润知专利代理事务所 32255 |
代理人 |
刘喜莲 |
主权项 |
一种用于制造石英晶体谐振器的晶体基板的加工方法,其特征在于:该方法利用化学溶剂,并按照预定的侵蚀区域大小、侵蚀时间来加工侵蚀晶体基板,从而实现晶体基板指定区域厚度按预定的设计形式改变,实现化学腐蚀的倒边效果,再制成晶体谐振器;所述的化学溶剂氟化氢氨NH<sub>4</sub>HF<sub>2</sub>水溶液。 |
地址 |
222300 江苏省连云港市东海县驼峰乡工业集中区 |