金刚石保护层结构的柔性衬底薄膜太阳能电池及制备方法

摘要

本发明涉及金刚石保护层结构的柔性衬底的薄膜太阳能电池制备方法，聚酰亚胺柔性衬底上依沉积金刚石绝缘保护薄膜、ITO透明导电薄膜、P型In_xGa_1-xN量子阱本征晶体薄膜、I型In_xGa_1-xN量子阱本征晶体薄膜、N型In_xGa_1-xN量子阱本征晶体薄膜、ITO透明导电薄膜以及金属Ag电极，此柔性太阳能电池最大的特点是重量轻、携带方便、不易粉碎，其重量比功率和体积比功率较其它种类的电池高几个数量级。具有很好的柔性，改变了I层材料和结构，引入具有带隙可调的In_xGa_1-xN量子阱本征晶体薄膜作为I层，In_xGa_1-xN材料具有稳定好，耐腐蚀且具有隧穿势垒以及低的光损系数，提高了电池的转化效率。采用金刚石作为保护绝缘层，抗腐蚀性进一步增强了，大大延长了薄膜太阳能电池的使用寿命。

主权项

一种金刚石保护层结构的柔性衬底薄膜太阳能电池制备方法，其特征在于，在聚酰亚胺柔性衬底上依沉积金刚石绝缘保护薄膜、ITO透明导电薄膜、P型In_xGa_1‑xN量子阱本征晶体薄膜、I型In_xGa_1‑xN量子阱本征晶体薄膜、N型In_xGa_1‑xN量子阱本征晶体薄膜、ITO透明导电薄膜以及金属Ag电极，其中In_xGa_1‑xN中x的取值为0～1。